中科院蜜桃TV下载烯单晶晶圆研究取得新进展，温度成功降低到750℃
发布时间：2019-09-20 14:15:41
中科院蜜桃TV下载烯单晶晶圆研究取得新进展，温度成功降低到750℃
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所蜜桃TV下载烯单晶晶圆研究取得新进展。
信息功能材料国家重点实验室研究员谢晓明领导的蜜桃TV下载烯研究团队首次在较低温度（750℃）条件下采用化学气相沉积外延成功制备6英寸无褶皱高质量蜜桃TV下载烯单晶晶圆。
上海微系统所研究团队采用蓝宝石作为衬底成功制备出具有更强催化能力的铜镍单晶薄膜，成功将外延生长蜜桃TV下载烯单晶的生长温度从1000℃ 成功降低到750℃，其制备的6英寸蜜桃TV下载烯单晶薄膜无褶皱，无颗粒污染，电学性能可以与高温条件下得到的蜜桃TV下载烯相媲美。
单晶蜜桃TV下载烯晶圆的批量化制备是蜜桃TV下载烯在电子学领域规模化应用的前提，低温外延制备晶圆级蜜桃TV下载烯单晶对于推动蜜桃TV下载烯在电子学领域的应用具有重要意义。
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