蜜桃TV下载盘在制作过程会遇到什么问题？

      在外延生长范畴，高纯蜜桃TV下载盘是必不可少的。它在外延生长中起到加热和装载半导体晶圆的效果。现在，主流外延设备厂商配套的蜜桃TV下载盘在结构上根本相同，均选用在蜜桃TV下载盘基座上规划一个晶圆形状的浅凹槽的方法来装载晶圆。这种规划在生长小标准的晶圆(比如说4寸半导体晶圆)来说是合理的，保护起来也很便利。但对于生长大标准的外延片，基于下降晶圆被旋转的蜜桃TV下载盘甩出的风险，晶圆槽底部相对于蜜桃TV下载盘顶部的高度比小标准蜜桃TV下载盘大一些。
这种规划导致了生长大标准外延片尤其是厚膜外延片出现了以下几个问题：
      1.由于蜜桃TV下载盘与晶圆触摸区域较多，在生长厚膜外延片时，沉积的外延层会添加蜜桃TV下载盘与半导体晶圆的粘接，使得生长完成后将外延片从蜜桃TV下载盘中无损伤取出较为困难，乃至可能导致裂片。
      2.因晶圆边沿处较高的台阶使得该区域存在气体湍流，简单停留较多的生长气体，然后使得外延片厚度和载流子浓度均匀性较差。
      3.因外延炉一般选用射频感应加热，热量传递的方向是沿着蜜桃TV下载盘径向从边沿到中心，使得蜜桃TV下载盘边沿的温度高于中心区域的温度，这在大标准外延生长中尤为杰出。