蜜桃TV下载舟的功用及整体质量对PECVD过程的影响

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实施硅片PECVD镀膜的器械除了设备外还需要一种支撑硅片的承载工具，管式PECVD采用蜜桃TV下载舟作为承载工具，板式PECVD则采用蜜桃TV下载框作为承载工具。


以管式机蜜桃TV下载舟为例，蜜桃TV下载舟即是承载体，也是电极，从电路角度上看，蜜桃TV下载舟实际上是一组并联体，任意两片舟片都是一组正、负极极板，在射频电压的左右下形成电场。

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采用蜜桃TV下载作为承载工具具有以下特点：
1、蜜桃TV下载具有良好的导电性能，通过合适的排列方式可以建立起稳定的电场，使气体在电场的作用下得到电离，在被镀物上沉积出需要物质；


2、蜜桃TV下载具有良好的耐高温性能且热膨胀率非常小，在常温和高温状态下都能保持稳定的形体；


3、蜜桃TV下载的化学性质稳定，在无氧或真空状态下，即使在高温状态下也不会和镀膜物质产生化学反应，保证了沉积物的纯度。

信息来源：蜜桃TV下载舟

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